潔凈烘箱耐高溫過濾器又稱無塵烘箱系列。用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的上膠前、上膠后、硬膜烘烤后及顯影后的預(yù)處理和烘烤;高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示器、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)科研部門;也可用于不揮發(fā)、不易燃易爆材料的干燥、熱處理、老化等高溫試驗(yàn)。
烤箱專用高溫高效過濾器具有以下特點(diǎn):
A、有隔板和耐高溫高效過濾器。外框可選:250℃以下可選擇鋁框、鋁折疊框、鍍鋅框、不銹鋼框; 250℃以上,必須使用鍍鋅框架或不銹鋼框架。不同框架材料的高效過濾器的價格和成本也不同。
B、鋁型材可選厚度:120mm、150mm、220mm。
C、隔板高溫高效過濾器的濾材為H13-H14玻璃纖維濾紙。
D、密封膠:紅色硅膠(250-280℃)和陶瓷膠(350-400℃)。
E、隔板為0.03mm厚鋁箔。
潔凈烘箱耐高溫過濾網(wǎng)的特點(diǎn):
1、可在正常環(huán)境下使用,保證烤箱內(nèi)部等級達(dá)到100級。
2、quan方位氬氣焊接,耐高溫硅膠開裂,SUS304#不銹鋼電加熱器,防機(jī)器本身產(chǎn)生的粉塵;
3、飛機(jī)水平從后向前抽,通過美國HEPA過濾器20"×20"裝置送風(fēng)至前門(特殊風(fēng)道設(shè)計),過濾效率99.99% ,Class 100,排氣口:3"φ(帶自動啟閉風(fēng)門)。
4、強(qiáng)制空氣循環(huán)方式。雙倍的。風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能PID控溫系統(tǒng),獲得良好的控溫精度
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